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这种半导体有两面性 并且同时具有多种功能-尊龙凯时手机版
发布时间:2024-09-26 11:18:09蒲姬发来源:
氮化镓基半导体一直是高频和电力电子领域的福音。它们还彻底改变了节能 led 照明。但没有一种半导体晶圆能够同时高效地实现这两项功能。
现在,康奈尔大学的研究人员与波兰科学院的一个团队合作,开发出了第一款双面(或称“双电子”)芯片,该芯片可同时结合光子和电子功能,这一创新可以缩小功能设备的尺寸,使其更节能,并降低制造成本。
该团队的论文《利用极性半导体晶圆的两面制造功能器件》于 9 月 25 日在《自然》杂志上发表。论文共同作者是博士生 len van deurzen 和 eungkyun kim。
该项目由康奈尔大学电气与计算机工程学院和材料科学与工程系的 david e. burr 工程教授 debdeep jena 以及威廉·l·夸肯布什 (william l. quackenbush) 电气与计算机工程教授兼材料科学与工程教授 huili grace xing 领导。
氮化镓 (gan) 在宽带隙半导体中是独一无二的,因为它沿晶轴具有较大的电子极化,这使其每个表面的物理和化学性质截然不同。镓(或阳离子)一侧已被证明可用于led 和激光器等光子器件,而氮(或阴离子)一侧可以承载晶体管。
jena-xing 实验室着手制造一种功能性设备,其中一侧的高电子迁移率晶体管 (hemt) 驱动另一侧的发光二极管(led)——这是任何材料都无法实现的壮举。
“据我们所知,没有人能制造出双面有源器件,即使是硅片也没有,”范德岑说。“原因之一是,硅片的两面都使用硅片并不能获得额外的功能,因为它是立方体,两面基本上是一样的。但氮化镓是一种极性晶体,因此一面的物理和化学性质与另一面不同,这让我们在设计器件时有了更多的选择。”
该项目最初由 jena 和前博士后研究员 henryk turski(该论文的共同资深作者)以及 jena 和 xing 在康奈尔大学构思。turski 与波兰科学院高压物理研究所的一个团队合作,在厚度约为 400 微米的单晶圆上生长透明的 gan 衬底。
随后,hemt 和 led 异质结构在波兰通过分子束外延生长。外延完成后,芯片被运往康奈尔大学,kim 在那里在氮极性面上构建和加工了 hemt。
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